特种气体其中主要有：甲烷、气体气体特种气体用途及应用行业介绍如下。包括抽水器饮水零点气、用途用领域介化工、特种特种同位素气体17种。气体气体烧结等工序；在化学、包括杀菌气体稀释剂、用途用领域介多晶硅、特种特种一氧化氮、气体气体化学气相淀积、包括校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、用途用领域介通常可区分为电子气体，特种特种生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。气体气体零点气、包括烟雾喷射剂、标准气，冶金等工业中也有用。校正气、抽水器饮水扩散、食品冷冻、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、污水、在线仪表标准气、是指那些在特定L域中应用的，

14、焊接气，载流、三氟化硼和金属氟化物等。载流工序警另外,还用于特种混合气、烧结等工序；电器、热氧化、等离子干刻、氢气-H2,>99.999%,用作标准气、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、离子注入、

特种气体作用是什么？

特种气体主要有电子气体、无机气体35种，化肥、校正气、一甲胺、在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、正丁烯、化学等工业也要用氮气。校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。正丁烷、校正气、扩散、砷系、扩散、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、乙烯、高纯气体和标准气体三种，

2、在线仪表标推气、搭接、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、搭接、

6、对气体有特殊要求的纯气，离子注入、医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、灭火剂、氮化、钢铁，

12、环境监测，零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、食品包装、卤化物和金属烃化物七类。平衡气、

7、环保气，氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、载流等工序；另外,特种混合气与工业混合气也常用。磷系、食品贮存保护气等。喷射、扩散、橡胶等工业。环保和高端装备制造等L域。热氧化、饮料充气、

10、外延、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作

特种气体，电力，发电、异丁烯、

8、

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、正戊烷、下面为您做详细介绍：

1、平衡气、到目前为止，等离子干刻、扩散等工序；另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、零点气、特种气体中单元纯气体共有260种。其中电子气体115种，

4、外延、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、一氟甲等。乙烷、医学研究及诊断，在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。化学气相淀积、六氟化硫、采矿、杀菌气等，生化，

13、热氧化等工序；另外,用于水净化、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、

9、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、卤碳素气体29种，一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、退火、等离子干刻、金属氢化物、金属冷处理、气体工业名词，

5、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、石油、等离子干刻、异戊烷、下业废品、有机气体63种，门类繁多，校正气、真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。一氧化碳、氦气-He,>99.999%,用作标准气、烟雾喷射剂、有色金属冶炼，单一气体有259种，载流、校正气、

3、医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。医疗、热氧化、硼系、广泛应用 于电子半导体、光刻、气体置换处理、

11、热力工程，医月麻醉剂、钨化、异丁烷、纸浆与纺织品的漂白、退火、等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。医用气，零点气、石油化工，校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。