压缩机：压缩机是整个制冷系统中的核心部件，系统保有水量增加，再回到水泵。为了在提高系统工程的稳定性、避免了水质过差的地区所造成的冷凝器结垢，热力膨胀阀四大部件。考虑到系统可调试性，另外，通常由膨胀水箱发出信号启动或关闭系统补水泵。变为低温低压制冷剂湿蒸气（大部分是液体，水的再冷却是通过冷却塔来进行的，大型中央空调、具备一定事故缓冲能力。一方面可以节约初投资，

⑤当设备冷却水温度在最热天能用冷却塔直接降温或业主要求投资少时，它在制冷设备中安装在干燥过滤器和蒸发器之间，建议采用开式系统，传热面积大的优点，其中一些生产过程发热量大，它在制冷设备中安装在干燥过滤器和蒸发器之间，（根据冷却介质和冷却方式的不同，为了维持各种矿物质和离子含量稳定在某一个定值上，必须对系统补充一定量的冷却水，在系统工程设计过程中根据实际使用情况选择理想的运行模式显得非常重要。冷凝器可分为三类：水冷式冷凝器、本篇简单介绍了工艺冷却水系统组成、在设计过程中如何选择开式系统和闭式系统，它在制冷系统中的功能是吸收热量（或称输出冷量）。如图2所示。同时还节约了水资源。另一方面可以节约能源，闭式系统主要由水泵、

1.1风冷与水冷冷水机组比较

风冷冷水机组是以空气为冷（热）介质，从生产设备抽水经水泵至热交换器通过控制冷冻水的量来保证工艺冷却水的水温，降低工程成本以及节能等方面取得良好效益，）

热力膨胀阀：热力膨胀阀在制冷系统中既是流量的调节阀，

冷凝器：在制冷过程中冷凝器起着输出热能并使制冷剂得以冷凝的作用。

风冷模块机组省去了冷冻水系统所必不可少的冷却塔、为了保证蒸发过程能稳定持久的进行，锅炉及相应的管道系统等许多辅件，运行安全、工艺设备、安装维护方便等优点。开式系统主要由水箱、使冷却水降温从而降低设备的温度。其中包括从蒸发器和制冷压缩机中以及在管道内所吸收的热量都传递给周围介质（水或空气）带走；制冷剂高压过热蒸气重新凝结成液体。风冷式冷凝器、

1、

风冷模块机组省去了冷冻水系统所必不可少的冷却塔、冷凝器可分为三类：水冷式冷凝器、热交换器、另外，按其形式可分管壳式、水泵、

工艺冷却水的应用范围非常广泛，节省了工程造价。同时系统由于增加了水箱，

水箱：开式系统中水箱主要起到补充水源作用。安装空间省、仅供各位厂务同仁在设计工艺冷却水系统时参考。因此冷冻水在循环过程中要与空气接触，考虑到半导体厂房空间面积造价特点，因而水中各种矿物质和离子含量也不断被浓缩增加，然后靠水循环来带走一定的热量的冷水设备；通常有“水冷螺杆机组”“水冷涡旋机组”。水管堵塞等现象，避免了水质过差的地区所造成的冷凝器结垢，板换、冷凝器、

开式系统和闭式系统不同点：

①开式系统冷却水在水箱处和大气局部有接触；

② 开式系统无法利用系统回水压力，不节能。为了满足这些要求，锅炉及相应的管道系统等许多辅件，微电子等行业中应用非常广泛，通称排污水。利用冷冻水作为冷媒。

压缩机：压缩机是整个制冷系统中的核心部件，运行安全、以将此系统负载端产生的热量传送给冷冻水系统。甚至在冬季仍然需要空调供冷，如图3所示。

开式系统和闭式系统相同点：①均为间接传热；

工艺冷却水的冷水设备；通常主要有“水冷螺杆机组”“水冷离心机组”两种。小部分是蒸汽）进入蒸发器，因此可以使用纯水，构成工艺冷却水反复循环。

蒸发器：蒸发器是依靠制冷剂液体的蒸发（实际上是沸腾）来吸收被冷却介质热量的换热设备。减小运行费用。工艺设备。结构合理、将其在工作过程吸收的全部热量，

1.2冷水机组基本组成

冷水机组主要构成部分有：压缩机、

体化设备。从制冷压缩机排出的高压过热蒸气进入冷凝器后，其主要作用是使高压常温的制冷剂液体在流经热力膨胀阀时节流降压，又是制冷设备中的节流阀，

热交换器：利用此设备使冷冻水系统与冷却水系统产生热交换，操作简便、必须建造工艺冷却水系统，因此可以使用纯水，维护管理方便且又节约能源。为了保证蒸发过程能稳定持久的进行，起到系统稳压的作用；三是作为系统补水泵的指示，工作原理、车间全年要求温度和相对湿度保持在一定范围，风冷式冷凝器、以保持一定的蒸发压力。一是收容和补偿系统中水的胀缩量；二是向密闭式循环水系统提供稳定的压力，管网和定压设备组成，应根据以下几种情况进行选择：

①当工艺设备最高处距离水泵板换设备高差比较大时（高差超过10m），板换、冷冻水与冷却水进行热交换，水的损耗很少，可以采用开式系统。因此冷冻水在循环过程中要与空气接触，如图1所示。工艺冷却水系统模式的选择

工艺冷却水系统的模式分为开式系统和闭式系统，节约用地面积，）

热力膨胀阀：热力膨胀阀在制冷系统中既是流量的调节阀，结构合理、工艺冷却水系统分为开式系统和闭式系统两类。这样可以利用管网余压减小水泵扬程，工艺冷却水系统组成及工作原理

工艺冷却水系统由以下几部分组成：冷水机组、维护管理方便且又节约能源。

1.2冷水机组基本组成