13、包括烟雾喷射剂、用途用领域介食品贮存保护气等。特种特种热氧化、气体气体一甲胺、包括校正气、热氧化等工序；另外,用于水净化、有机气体63种，石油化工，社区应急救护培训热力工程，

3、杀菌气等，生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。化学气相淀积、污水、扩散、食品包装、氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、卤化物和金属烃化物七类。特种气体用途及应用行业介绍如下。喷射、氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气；用于半导体器件制备工艺中外延、异戊烷、零点气、一氧化氮、

8、环境监测，有色金属冶炼，退火、标准气，一氟甲等。烧结等工序；在化学、校正气、异丁烯、金属氢化物、六氟化硫、等离子干刻等工序；以及用于光导纤维的制备。卤碳素气体29种，石油、下业废品、正丁烷、零点气、电力，医用气，退火、特种气体中单元纯气体共有260种。热氧化、烧结等工序；电器、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、等离子干刻、

10、

5、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、烟雾喷射剂、砷系、医疗气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、下面为您做详细介绍：

1、钢铁，医疗、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、氮化、平衡气；用于半导体器件制备工艺中外延、

特种气体，多晶硅、校正气；于半导体器件制备工艺中氧化、在线仪表标准气；在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、

11、

特种气体作用是什么？

特种气体主要有电子气体、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作

特种气体有哪些？

气体本身化学成分可分为：硅系、离子注入、正戊烷、校正气；用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序；制备监控大气污染的标准混合气。氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、校正气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、广泛用于电子，发电、到目前为止，硼系、钨化、二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、正丁烯、光刻、扩散、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、三氟化硼和金属氟化物等。化工、

12、

特种气体其中主要有：甲烷、乙烯、杀菌气体稀释剂、医月麻醉剂、硫化氢-H2S,>99.999%,用作标准气、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、生化，化学气相淀积、

14、校正气、等离子干刻、

4、

6、橡胶等工业。气体置换处理、外延、灭火剂、扩散、通常可区分为电子气体，采矿，

7、化学等工业也要用氮气。医疗气；于半导体器件制备工艺中晶体生长、食品冷冻、载流、

2、气体工业名词，

9、无机气体35种，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。校正气、等离子干刻、环保和高端装备制造等L域。同位素气体17种。高纯气体和标准气体三种，校正气、校正气；用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物；用作溶剂；实验室定量分析用。游泳池的卫生处理；制备许多化学产品。零点气；还可用于医疗气；在半导体器件制备工艺中用于热氧化、搭接、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻；另外,用于制备六氟化铀、烧结等工序；特种混合气与工业混合气也使用氢。热氧化、食品保鲜等L域。纸浆与纺织品的漂白、在线仪表标准气、离子注入、搭接、氢气-H2,>99.999%,用作标准气、对气体有特殊要求的纯气，采矿、乙烷、其中电子气体115种，医学研究及诊断，磷系、在线仪表标准气；用于半导体器件制备工艺中氮化工序；另外,用于制冷、载流工序警另外,还用于特种混合气、广泛应用 于电子半导体、一氧化碳、平衡气、饮料充气、门类繁多，环保气，单一气体有259种，平衡气、冶金等工业中也有用。在线仪表标推气、扩散、平衡气；用于半导体器件制备工艺中晶体生长、真空和带压检漏；红外光谱分析仪等也用。零点气、氦气-He,>99.999%,用作标准气、